Cílem práce je analýza a vyhodnocení sondových charakteristik s použitím k tomu určenému software. Data jsou získána pomocí Langmuirovy sondy umístěné v nízkoteplotním plazmatu generovaného mikrovlnným surfatronem.
Anotace v angličtině
Aim of this work is analysis and evaluation of probe characteristics using for this purpose designed software. Data were obtained by Langmuir probe placed in low temperature plasma generated by microwave surfatron.
Klíčová slova
nízkoteplotní plazma, surfatron, Langmuirova sonda, sondová diagnostika, potenciál plazmatu, plovoucí potenciál, teplota elektronů, hustota elektronů, mikrovlnný výboj
Klíčová slova v angličtině
low temperature plasma, surfatron, Langmuir probe, probe diagnostics, plasma potential, floating potential, electron temperature, electron density, microwave discharge
Rozsah průvodní práce
42 s. (37 427 znaků)
Jazyk
CZ
Anotace
Cílem práce je analýza a vyhodnocení sondových charakteristik s použitím k tomu určenému software. Data jsou získána pomocí Langmuirovy sondy umístěné v nízkoteplotním plazmatu generovaného mikrovlnným surfatronem.
Anotace v angličtině
Aim of this work is analysis and evaluation of probe characteristics using for this purpose designed software. Data were obtained by Langmuir probe placed in low temperature plasma generated by microwave surfatron.
Klíčová slova
nízkoteplotní plazma, surfatron, Langmuirova sonda, sondová diagnostika, potenciál plazmatu, plovoucí potenciál, teplota elektronů, hustota elektronů, mikrovlnný výboj
Klíčová slova v angličtině
low temperature plasma, surfatron, Langmuir probe, probe diagnostics, plasma potential, floating potential, electron temperature, electron density, microwave discharge